一直對(duì)3D NAND要堆多少層有執(zhí)念,或許和癡迷過(guò)疊大樓游戲有關(guān),即便是簡(jiǎn)單的疊高樓游戲,也很考驗(yàn)人的耐心和定力,堆疊更是一門技術(shù)活了。事實(shí)上,閃存發(fā)展史從堆疊角度也可以看到一些變化:從1967年浮柵MOSFET出現(xiàn)到2008年,閃存都是基于2D NAND,2008年,東芝開(kāi)發(fā)了3D NAND結(jié)構(gòu)的BICS,2013年,三星正式推出24層3D V-NAND,并在FMS上展示了1TB SSD,平房變高樓,此刻,屬于3D NAND的“疊疊樂(lè)”時(shí)代才正式開(kāi)始。
從最初的24層開(kāi)始,到32層,再到64層,大約經(jīng)過(guò)三四年時(shí)間,2017年前后,96層NAND開(kāi)始出現(xiàn),之后進(jìn)入百層時(shí)代,128層、144層、212層、238層…到2023年,一些廠商都要卷300層+了,但這個(gè)300層是不是真正的300層其實(shí)不一定。
在這場(chǎng)3D NAND技術(shù)競(jìng)賽里,堆疊層數(shù)被視為其中一個(gè)制高點(diǎn)。大家堆得層數(shù)越來(lái)越高,方法卻不盡相同。目前市場(chǎng)上有兩種堆疊方式:字符串堆疊( String stack)和單一堆疊(Single stack)。
單一堆疊(Single stack)相當(dāng)于原生垂直堆疊1xx+,僅一道工序,有成本優(yōu)勢(shì)。但制程復(fù)雜度隨層數(shù)攀升不斷加大,蝕刻和沉積最終可能導(dǎo)致裸片良品率下降,包括交疊層厚薄不均、蝕刻不徹底(打孔未到達(dá)底部)、彎曲、扭曲及線寬變化。還有其間電子垂直通過(guò)的遷移率也在隨層數(shù)增加而更加不可控。
而字符串堆疊( String stack,目前主要指雙層堆疊),制程復(fù)雜度相對(duì)較低,只要擁有48層或者64層技術(shù),那么就可以實(shí)現(xiàn)96(2*48)層、128(2*64)層,還降低了打孔的蝕刻深度,良品率不會(huì)受到影響,但需要兩道工序,會(huì)增加30%+的成本。
另外還有長(zhǎng)江存儲(chǔ),另辟蹊徑的Xstacking技術(shù),是一種晶圓鍵合(Wafer bonding)而非堆棧方式。一片晶圓上加工負(fù)責(zé)數(shù)據(jù)I/O及記憶單元操作的外圍電路,另一片晶圓上加工存儲(chǔ)單元,最終通過(guò)數(shù)百萬(wàn)根金屬VIA(垂直互聯(lián)通道)將二者鍵合接通電路。近年來(lái)也有其他廠商開(kāi)始使用類似的方式。
當(dāng)然,大家為了追求更高層數(shù),很更傾向于字符串堆疊,推出速度快,容量更大,層數(shù)還高。
如今隨著AI、5G、物聯(lián)網(wǎng)等新興技術(shù)的發(fā)展,我們對(duì)高容量、高性能存儲(chǔ)需求激增,會(huì)推動(dòng)3D NAND層數(shù)繼續(xù)增加。
未來(lái)幾年,在出現(xiàn)可替代的存儲(chǔ)新介質(zhì)之前,3D NAND的堆疊層數(shù)應(yīng)該還會(huì)繼續(xù)攀升,400層甚至更高層的3D NAND可能成為出現(xiàn),而混合使用字符串堆疊和晶圓鍵合技術(shù),進(jìn)一步提升存儲(chǔ)容量和性能也將繼續(xù)。
8月28日,全球閃存峰會(huì)將在南京召開(kāi),大會(huì)也將共同探討3D NAND技術(shù)的發(fā)展趨勢(shì)與未來(lái)走向,期待大家的積極參與,共同推動(dòng)閃存技術(shù)的蓬勃發(fā)展。